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设备: 德国蔡司SUPRA 55场发射扫描电镜  (无预约权限,请先登录或联系管理员!)
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设备信息
设备名称:德国蔡司SUPRA 55场发射扫描电镜
Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜 简明操作指南 一、开机说明 1、 按下绿键。 按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码: 2、 启动 SmartSEM 软件。 用户名: 密码: 3、 检查真空值。 4、 换样或加高压观察样品。 二、换样品 1、 装试样。 在备用样品座上装好样品,并记录样品形状、编号和位置。 注意:各样品观察点高度基本一致。确认样品不会脱落,并用洗耳球吹一下。 2、 关高压。 3、 检查插入式探测器状态 打开 TV,将 EBSD 等插入式探测器拉出。 4、 放气。 点 Vent 等待~ 分钟。 注意:确认 Z move on vent 选上,这样,放气时样品台会自动下降。 5、 拉开舱门。 注意:拉开舱门前,确认样品台已经降下来,周围探测器处于安全位置。 6、 更换样品座 注意:抓样品座时戴手套,避免碰触样品。 7、 关上舱门。 注意:舱门上 O 圈有时会脱落,关门时勿夹到异物。 8、 抽真空。 点击 Pump,等待真空就绪(留意 Vacuum 面板上真空状态) 。 等待过程中,可先移动样品台初步定位样品。 9、 换样完成。 加高压,观察样品 三、成像初步 1、 定位样品。 打开 TV,移动样品台。升至工作距离约在 5~10mm 处,平移对准样品。可打开 stage navigation 帮助定位。 2、 开高压。 根据检测要求和样品特性,设定加速电压; 3、 观察样品,定位观察区。 全屏快速扫描(点击工具栏上 ); 选择 Inlens 或 SE2 探头; 缩小放大倍数至最小; 聚焦并调整亮度和对比度(Tab 键可设置粗调 Coarse 或细调 Fine) ; 读取 WD 数值; 必要时升降样品台,WD 常用 5 ~10mm; 移动样品台 X、Y,或使用 Centre Point(Ctrl+Tab 键)定位; 聚焦、放大至~5kX、再聚焦、定位; 4、 必要时,调光阑对中。 选区快速扫描, Aperture 面板上,选上 Wobble,调 Aperture X 和 Y, 消除图像水平晃动。完成后取消 Wobble。 5、 消像散。 选区扫描,依次调 Stigmation X、Y 和聚焦,直到图像最清晰。 6、 成像。 进一步放大至~50kX、并进一步聚焦和消像散; 全屏扫描,调亮度和对比度; 用 Beam Shift 或 Ctrl +Tab 定位成像位置; 点击 Mag 设置所需放大倍数; Scanning 面板选择消噪模式(一般用 Line Avg );选择扫描速度和 N 值(使 cycle time 在 40s 左右为宜); 确认 Freeze on =end frame;点击 Freeze;等待扫描完成。 7、 存储。 点击鼠标中键(滚轮)或右键,弹出快捷菜单→Send to →Tiff file; 设置文件夹,取文件名,设置文件名后缀,点 Save; 同一样品图片再次存储,直接左键点击工具栏上按钮。 存储结束后,点击 unfreeze,点击 快速扫描
可预约用户:李志强,陈春焕,王琪,刘世民,刘芳,王晶,徐冰,张勇,赵丽敏,刘超前,梁瑶,朱平,王莹,刘鹏涛,姜薇薇,刘春鹏,吕云卓,朱晓彤,王楠,华军,黄诗铭,丁伟元,邹存磊,宫崟翔,王纬琦,丁志敏,刘旭东,张鑫,林浩
最多可预约:3
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