Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜 简明操作指南 一、开机说明 1、 按下绿键。 按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码 2、 启动 SmartSEM 软件,输入用户名；密码 3、 检查真空值。 4、 换样或加高压观察样品。 二、换样品 1、 装试样。 在备用样品座上装好样品，并记录样品形状、编号和位置。 注意：各样品观察点高度基本一致。确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。 2、 关高压。 3、 检查插入式探测器状态 打开 TV，将 EBSD 等插入式探测器拉出。 4、 放气。 点 Vent 等待～2分钟。 注意：确认 Z move on vent 选上，这样，放气时样品台会自动下降。 5、 拉开舱门。 注意：拉开舱门前，确认样品台已经降下来，周围探测器处于安全位置。 6、 更换样品座 注意：抓样品座时戴手套，避免碰触样品。 7、 关上舱门。 注意：舱门上 O 圈有时会脱落，关门时勿夹到异物。 8、 抽真空。 点击 Pump，等待真空就绪(留意 Vacuum 面板上真空状态) 。 等待过程中，可先移动样品台初步定位样品。 9、 换样完成。 加高压，观察样品 三、成像初步 1、 定位样品。 打开 TV，移动样品台。升至工作距离约在 5~10mm 处，平移对准样品。可打开 stage navigation 帮助定位。 2、 开高压。 根据检测要求和样品特性，设定加速电压； 3、 观察样品，定位观察区。 全屏快速扫描（点击工具栏上 ）； 选择 Inlens 或 SE2 探头； 缩小放大倍数至最小； 聚焦并调整亮度和对比度（Tab 键可设置粗调 Coarse 或细调 Fine） ； 读取 WD 数值； 必要时升降样品台，WD 常用 5 ～10mm； 移动样品台 X、Y，或使用 Centre Point(Ctrl+Tab 键)定位； 聚焦、放大至～5kX、再聚焦、定位； 4、 必要时，调光阑对中。 选区快速扫描， Aperture 面板上，选上 Wobble，调 Aperture X 和 Y， 消除图像水平晃动。完成后取消 Wobble。 5、 消像散。 选区扫描，依次调 Stigmation X、Y 和聚焦，直到图像最清晰。 6、 成像。 进一步放大至～50kX、并进一步聚焦和消像散； 全屏扫描，调亮度和对比度； 用 Beam Shift 或 Ctrl ＋Tab 定位成像位置； 点击 Mag 设置所需放大倍数； Scanning 面板选择消噪模式（一般用 Line Avg ）；选择扫描速度和 N 值（使 cycle time 在 40s 左右为宜）； 确认 Freeze on ＝end frame；点击 Freeze；等待扫描完成。 7、 存储。 点击鼠标中键（滚轮）或右键，弹出快捷菜单→Send to →Tiff file； 设置文件夹，取文件名，设置文件名后缀，点 Save； 同一样品图片再次存储，直接左键点击工具栏上按钮。 存储结束后，点击 unfreeze，点击 快速扫描