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日本电子JSM-6360LV扫描电子显微镜
2011/12/31
用于各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。与能谱仪联用,分析固体样品的微观形貌,样品的微区元素成份及线分布、面分布,广泛应用于材料、生物、光电子等领域。进行样品形态和粒度的测定;显微形貌分析;复合材料界面特性的研究;材料中元素定性分析、定量分析、线分析、面分析;材料及电子器件失效分析。
主要特点以及技术参数
:
1. 高真空模式:3.0 nm;低真空模式:4.0 nm;
2. 低真空度1 to 270 Pa,高、低真空切换;
3.样品台X:80 mm,Y:40 mm;T:-10
o
to +90
o
;R:360
o
;
4.加速电压0.5 kV ~ 30 kV;束流 1 pA~1 uA;
地址:大连市沙河口区黄河路794号 邮政编码:116028 电子邮箱:lu@djtu.edu.cn 电话:84106925
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