1. 性能
1.1. 分辨本领
二次电子像分辨率:
0.8nm @ 15 kV
1.6 nm @ 1kV
调整范围:20 V~30 kV
调整步长:每档10 V连续可调
1.2. 探针电流:
4 pA~20 nA
稳定性: 优于 0.2%/h
1.3. 放大倍率:
范围: 12×~1000,000×
2. 样品室
2.1. 样品室尺寸:330 mm内径,270 mm高
2.2. 最大样品尺寸:不小于 200mm(直径)
2.3. 样品置换时间(抽真空时间):不大于 5分钟
2.4. 附件接口:
在样品室上提供不少于六个附件接口,可同时接X射线能谱、背散射电子探测器等。
2.5. 样品台
类型:5轴马达驱动
装配方式:抽屉式拉门。
控制:双操纵杆控制盒
移动范围: X = 130 mm
Y = 130 mm
Z = 50 mm
T = -3o - 70o
R = 360o 连续
3. 探测器
镜筒内(In-lens)二次电子探测器
样品室二次电子探测器
背散射电子探测器 CCD 摄像机
4X射线能谱仪
11.1、探测器制冷方式:电制冷型。
11.2、探测器:硅漂移探头。
11.3、有效探测面积:不少于50 mm2。
11.4、100,000cps时的能量辨率:
Mn Ka:≤127eV
F Ka:≤66eV
C Ka:≤56eV
其 它:≤133eV
11.5、元素探测范围:BE(4)~U(92)
11.6、最大输入计数:>3,000,000cps
11.7、最在输出计数:>1,100,000cps
12.EBSD背散射电子衍射分析仪
12.1该设备为扫描电镜附属设备,与能谱仪形成一体化系统,用于材料的物相和结构组合分析。
12.2高解析率(640×480像素)数字相机,在识别率优于99%条件下每秒采集并解析870点以上; 可以实现动态原位分析。
12.3加速电压3KV,束流小于100pA时可采集到花样
12.4空间分辨率:0.05um。
12.5角度分辨率优于0.1度,且有具备角度单位的绝对误差表征办法。
12.6晶体学数据库,含ICSD数据库,并且已经滤掉伪对称数据。
12.7能谱仪和EBSD一体化采集、分析,64位最新软件,图像清晰度不低于4096*4096,可以自动和手动进行背景扣除等设定。
12.8全套操作软件包括取向成图、极图与反极图等完整功能。
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