JSM6360-LV 操作指南

注意：1、未经授权的用户不能独立操作电镜；

        2、未经授权的功能不要私自尝试，在使用中有任何不明白的问题及时与仪器主管勾通；

        3、在使用中出现任何异常，请立即停止工作，保持现场，并报告仪器主管及实验室主任，不得隐瞒和私自处理；

        4、离开前清理现场卫生。

1、开机

    1.1 开机前，检查前次记录，了解仪器当前状态。

   1.2 开冷却水；

   1.3 开主机电源

       扭钥匙到start 保持约1s, 松手；

   1.4 检查能谱仪脉冲处理器后面的开关是否在1 位置(不做能谱分析可以忽略此步)；

   1.5 开电脑, 打开主程序。

2、装样品

   2.1 对样品的要求：样品不得含有水、油以及腐蚀性和挥发性介质，样品表面不得带有灰尘；不导电样品需要预先喷镀导电层处理；样品的尺寸原则上在32×32mm范围内，高度小于45mm；

   2.2 点击sample按钮--点击vent (或者长按主机面板上的vent按钮)， 待主机面板上的vent按钮停止闪烁后，轻轻拉开样品室门，安放样品， 注意：样品上表面到物镜的距离不得小于10mm；关样品室门之前确保样品不会撞倒物镜及其他探测器；

   2.3 样品室门轻轻推紧后，点击sample 窗口上的Evac按钮（或长按主机面板上的Evac按钮）抽真空，待主机面板上的Evac按钮停止闪烁后，真空度达到要求。

3、观察及拍照

   3.1 系统真空度达到要求以后（HT处显示ready），点击HT开高压， 得到图像。点击stage 看到样品台位置，在view模式下找到样品，在scan2模式下调整视野位置，在scan3模式下精确聚焦，用scan4拍照;

   3.2 为得到高质量的图像，请适当调整工作距离（WD）、束班尺寸（spotsize）和加速电压（ACC. HT）等参数；

   3.3 可以点击AS按钮进行自动消象散，再通过欠焦和过焦确认，如果AS不能完全消除象散，需要手动调整。

   3.4 点击菜单“preset Mag--preset”，然后在窗口上找到“photo Data”选项设置保存图像的样式；

   3.5 注意：为保护马达驱动轴，在移动视场时：尽量不要在stage窗口上使用 go功能，5000倍以下不要使用click center功能，当马达驱动走行不顺畅时，请使用手动，

   3.6 为保护灯丝和阳极，每次换样品时，先关闭高压，等至少5分钟后才可以开样品室。

4、能谱分析

   4.1 调整电镜的工作参数，如：调整加速电压到20kv或以下，调整WD 在10mm或10mm左右， 调整spotsize和放大倍数到合适的数值；

   4.2 打开能谱主程序，点菜单option - microscope control 设置仪器参数；

   4.3 选择合适的导航器，获取谱线，注意获取率和死时间要在规定的范围内；

   4.4 选择合适的模板保存实验结果，

   4.5 结束能谱分析后关闭能谱主程序， 然后关闭能谱仪电脑。

5、关机

   5.1 把Z轴向下调低2~3mm，样品室放气，取出样品，然后把样品室抽真空直到Evac按钮停止闪烁；

   5.2 关主程序，关电脑，把钥匙扭到off位置；

   5.3 半小时后，关闭冷却水电源；

   5.4 做好相关记录。