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设备: 日本电子JEOL-6360LV-扫描电子显微镜  (无预约权限,请先登录或联系管理员!)
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设备信息
设备名称:日本电子JEOL-6360LV-扫描电子显微镜

JSM6360-LV 操作指南

注意:1、未经授权的用户不能独立操作电镜;

        2、未经授权的功能不要私自尝试,在使用中有任何不明白的问题及时与仪器主管勾通;

        3、在使用中出现任何异常,请立即停止工作,保持现场,并报告仪器主管及实验室主任,不得隐瞒和私自处理;

        4、离开前清理现场卫生。

 

1、开机

    1.1 开机前,检查前次记录,了解仪器当前状态。

   1.2 开冷却水;

   1.3 开主机电源

       扭钥匙到start 保持约1s, 松手;

   1.4 检查能谱仪脉冲处理器后面的开关是否在1 位置(不做能谱分析可以忽略此步)

   1.5 开电脑, 打开主程序

2、装样品

   2.1 对样品的要求:样品不得含有水、油以及腐蚀性和挥发性介质,样品表面不得带有灰尘;不导电样品需要预先喷镀导电层处理;样品的尺寸原则上在32×32mm范围内,高度小于45mm

   2.2 点击sample按钮--点击vent (或者长按主机面板上的vent按钮) 待主机面板上的vent按钮停止闪烁后,轻轻拉开样品室门,安放样品, 注意:样品上表面到物镜的距离不得小于10mm;关样品室门之前确保样品不会撞倒物镜及其他探测器;

   2.3 样品室门轻轻推紧后,点击sample 窗口上的Evac按钮(或长按主机面板上的Evac按钮)抽真空,待主机面板上的Evac按钮停止闪烁后,真空度达到要求。

3、观察及拍照

   3.1 系统真空度达到要求以后(HT处显示ready),点击HT开高压, 得到图像。点击stage 看到样品台位置,在view模式下找到样品,在scan2模式下调整视野位置,在scan3模式下精确聚焦,用scan4拍照;

   3.2 为得到高质量的图像,请适当调整工作距离(WD)、束班尺寸(spotsize)和加速电压(ACC. HT)等参数;

   3.3 可以点击AS按钮进行自动消象散,再通过欠焦和过焦确认,如果AS不能完全消除象散,需要手动调整。

   3.4 点击菜单“preset Mag--preset”,然后在窗口上找到“photo Data”选项设置保存图像的样式;

   3.5 注意:为保护马达驱动轴,在移动视场时:尽量不要在stage窗口上使用 go功能,5000倍以下不要使用click center功能,当马达驱动走行不顺畅时,请使用手动,

   3.6 为保护灯丝和阳极,每次换样品时,先关闭高压,等至少5分钟后才可以开样品室。

4、能谱分析

   4.1 调整电镜的工作参数,如:调整加速电压到20kv或以下,调整WD 10mm10mm左右, 调整spotsize放大倍数到合适的数值;

   4.2 打开能谱主程序,点菜单option - microscope control 设置仪器参数;

   4.3 选择合适的导航器,获取谱线,注意获取率和死时间要在规定的范围内;

   4.4 选择合适的模板保存实验结果,

   4.5 结束能谱分析后关闭能谱主程序, 然后关闭能谱仪电脑。

5、关机

   5.1 Z轴向下调低2~3mm,样品室放气,取出样品,然后把样品室抽真空直到Evac按钮停止闪烁;

   5.2 关主程序,关电脑,把钥匙扭到off位置;

   5.3 半小时后,关闭冷却水电源;

   5.4 做好相关记录。

 

 

可预约用户:李志强,陈春焕,王琪,于洪波,杨莉,司伟,刘世民,艾秀兰,沈长斌,刘芳,张俊计,王晶,卢璐,李刚,徐冰,丁万昱,金成,武素梅,刘向,张勇,赵丽敏,刘德义,刘超前,杨民,田如锦,刘桂林,阎志明,陈影,梁瑶,朱平,王莹,董学伟,梁占国,王韶旭,傅杰,刘鹏涛,邵力耕,姜薇薇,史继成,王生武,刘明,王修慧,陶华龙,许鸿吉,马付建,李国军,李军文,王华林,黄诗铭,丁志敏
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