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Sigma 360是由德国蔡司制造，采用肖特基热场发射电子枪及GEMINI电子光学系统设计，束流稳定性高，优于0.2%/h，低电压分辨率优异，GEMINI物镜无漏磁设计可完成磁性样品高分辨成像，具有广泛的样品适用性。仪器配置的In-lens探测器、SE2探测器、BSD探测器可对样品进行高分辨率的极表面形貌表征、高景深的立体结构表征、不易荷电的成分衬度表征。配置牛津能谱探测器，接收不同元素（原子）发出的特征X射线，识别元素（原子）种类，可实现元素定性定量分析，具有点扫、线扫、面扫的分析模式。
仪器种类：落地式/传统大型
电子枪种类：热场发射
产地类别：进口
二次电子图象分辨率：0.9nm@15kV，1.3nm@1kV
放大倍数：10-1,000,000x
加速电压：0.02-30kV
最大样品尺寸：直径不超过179毫米
样品台：5轴电动优中心样品台
检测器系统：二次电子检测器、背散射电子检测器、In-Lens探测器
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