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用于各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。与能谱仪联用，分析固体样品的微观形貌，样品的微区元素成份及线分布、面分布，广泛应用于材料、生物、光电子等领域。进行样品形态和粒度的测定；显微形貌分析；复合材料界面特性的研究；材料中元素定性分析、定量分析、线分析、面分析；材料及电子器件失效分析。
主要特点以及技术参数：
1. 高真空模式：3.0 nm；低真空模式：4.0 nm；
2. 低真空度1 to 270 Pa，高、低真空切换；
3.样品台X:80 mm，Y:40 mm；T:-10o to +90o；R:360o ；
4.加速电压0.5 kV ~ 30 kV；束流 1 pA~1 uA；
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