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本仪器用于材料的高分辨形貌观察和高空间的晶体结构、定性与定量成分分析等。配有数字化CCD相机、能谱仪(EDS)以及扫描透射(STEM)系统。可进行透射电镜形貌像和电子衍射花样的数字化像的记录;进行材料微区的定性、定量成份分析;进行扫描透射明场像和高角环形暗场(HAADF)像实验。
主要性能指标:
分辨率: 点分辨率: ≤0.19 nm
线分辨率: ≤0.10 nm
加速电压: 最高: 200 kV;
最小步长: 50 V
物镜: 球差系数: ≤0.5 mm
色差系数 : ≤1.1 mm
束斑尺寸: TEM模式: 2 - 5 nmf
EDS模式: 0.5 - 2.4 nmf
NBD模式:0.5 - 2.4 nmf
CBD模式: 0.5 - 2.4 nmf
放大倍数可达150万倍
样品倾斜角度: ≥±30°
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